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CX-600 Parylene Beschichtungsanlage

Große CVD-Beschichtungsmaschine zur Herstellung von Parylene-Dünnfilmen

Der Parylene-Beschichter CX-600 ist eine Niedertemperatur-CVD-Beschichtungsmaschine mit einem Reaktorvolumen von 600 L zur Herstellung von Parylene-Dünnfilmen. Es ist vollautomatisch und integriert Oberflächenaktivierungsprozesse.

CX-600 kann in Produktionslinien für elektronische oder medizinische Geräte oder Halbleiter integriert werden. Die Maschine kann problemlos an Reinräume gekoppelt werden.

Der CVD-Parylene-Beschichter ist auch in kleineren Ausführungen (CX-30 und CX-300) erhältlich.

Large parylene coater CX-600 by COAT-X for parylene thin films
Large parylene coater CX-600 by COAT-X for parylene thin films

CX-600 wurde von COAT-X für die Herstellung hochwertiger Parylene-Schutzbeschichtungen entwickelt . Es ist das Ergebnis von mehr als 10 Jahren intensiver Forschung und Entwicklung. CX-600 erzeugt hochwertige, lochfreie Parylene-Schutzbeschichtungen von 100 nm bis 40 µm mit sehr präziser Steuerung der Abscheidungsrate.

Mit dem CX-600 hergestellte Parylene-Dünnfilme sind hervorragende Feuchtigkeitsbarrierebeschichtungen und dielektrische Isolatoren mit hoher Durchbruchspannung, niedrigem Reibungskoeffizienten, ausgezeichneter Biokompatibilität und chemischer Stabilität.

HAUPTMERKMALE

CX-600 ist eine Niedertemperatur-CVD-Beschichtungsmaschine, die speziell für die Abscheidung dünner Parylene-Filme entwickelt wurde. Sie integriert:

  • Verdampferofen
  • Pyrolyseofen mit Quarzrohr
  • Frontlader-Abscheidungskammer
  • Ablagedrehtisch
  • Injektion von Haftvermittler
  • Kühlfallen
  • Pumpeneinheiten
  • Regulierungseinheit
  • Mensch-Maschine-Schnittstellensoftware
  • PC und Bildschirm auf verstellbarem Arm
SYSTEMSPEZIFIKATIONEN

Der CX-600 ist ein kompakter Parylene-Beschichter, er lässt sich leicht in eine Produktionslinie integrieren, seine Stellfläche beträgt:

  • Länge 2,3 m
  • Breite 1,6 m
  • Höhe 2,0 m

 

Nutzbares Volumen zur Beschichtung:

  • Durchmesser   600 mm
  • Höhe                 1200 mm
VERFÜGBARE OPTIONEN

Für den CX-600 stehen folgende Optionen zur Verfügung:

  • Sauerstoffplasma-Aktivierung
  • PE_CVD-Modul zur Abscheidung von mehrschichtigen Verbunddünnfilmen aus Parylene und Keramik.
  • Automatische Stickstoffnachfüllung
  • Thermoregulierte Reaktorkammer
  • Schnittstelle zum Reinraum
  • Spezifische Beschichtungsvorrichtung

 

Verbrauchsmaterialien für die Parylene-Abscheidung können von COAT-X erworben werden, wie z. B. Parylene-C-, Parylene-VT4- und Parylene-AF4-Dimergranulate oder Keramikvorläufer.

ANWENDUNGEN

Der CX-600 produziert hermetische Parylene-Dünnfolien, um empfindliche Produkte vor Feuchtigkeit zu schützen, wie zum Beispiel:

  • Leiterplatten (PCB und PCBA)
  • Sensoren und Aktoren
  • MEMS
  • LEDs
  • Medizinische Geräte

 

Darüber hinaus bietet der Parylene-Dünnfilm eine biokompatible Oberfläche für implantierbare Geräte wie z

  • Herz-Kreislauf-Stents
  • Herzüberwachungssysteme
  • Kontrolle des Augeninnendrucks
  • Intragastrischer Ballon
DIENSTLEISTUNGEN

COAT-X kümmert sich um:

  • Entwicklung einer optimalen Beschichtungsrezeptur
  • Design und Produktion von Beschichtungsvorrichtungen
  • Lieferung von Verbrauchsmaterialien und Ersatzteilen
  • FAT- und SAT-Qualifikationen
  • Unterstützung bei der Prozessvalidierung
  • Reparatur und Service auf Anfrage
  • Weltweite Lieferung

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