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La CX-600 Parylène est une machine de revêtement CVD à basse température avec un volume de réacteur de 600 L pour produire des films minces de parylène. Il est entièrement automatisé et intègre des processus d'activation de surface.
Le CX-600 peut être intégré dans les lignes de production de dispositifs électroniques, médicaux ou de semi-conducteurs. La machine peut facilement être couplée à des salles blanches.
La machine est également disponible dans des modèles plus petits (CX-30 et CX-300).
Le CX-600 a été conçu par COAT-X pour la production de vernis de protection Parylène de haute qualité. C'est le résultat de plus de 10 ans d'intenses recherches et développements. Le CX-600 produit des revêtements conformes en Parylène sans piqûres de haute qualité de 100 nm jusqu'à 40 um avec un contrôle très précis du taux de dépôt.
Les films minces de parylène produits avec le CX-600 sont d'excellents revêtements barrières contre l'humidité et isolants diélectriques avec une tension de claquage élevée, un faible coefficient de frottement, une excellente biocompatibilité et une stabilité chimique.
CX-600 est une machine de revêtement CVD basse température spécialement conçue pour le dépôt de couches minces de Parylène, elle intègre :
La CX-600 est une coucheuse Parylène compacte, elle s'intègre facilement dans une ligne de production, son encombrement est de :
Volume utile pour la déposition:
Les options suivantes sont disponibles pour le CX-600 :
Les consommables pour le dépôt de parylène peuvent être achetés par COAT-X, comme les granulés dimères Parylène-C, Parylène-VT4 et Parylène-AF4 ou les précurseurs céramiques.
Le CX-600 produit des films minces hermétiques en Parylène pour protéger les produits sensibles contre l'humidité comme :
De plus, le film mince de parylène fournit une surface biocompatible aux dispositifs implantables, comme
COAT-X s'occupe de :
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