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CX-600 Parylène

Machine de revêtement CVD de grande taille pour la production de films minces de Parylène

La CX-600 Parylène est une machine de revêtement CVD à basse température avec un volume de réacteur de 600 L pour produire des films minces de parylène. Il est entièrement automatisé et intègre des processus d'activation de surface.

Le CX-600 peut être intégré dans les lignes de production de dispositifs électroniques, médicaux ou de semi-conducteurs. La machine peut facilement être couplée à des salles blanches.

La machine est également disponible dans des modèles plus petits (CX-30 et CX-300).

Large parylene coater CX-600 by COAT-X for parylene thin films
Large parylene coater CX-600 by COAT-X for parylene thin films

Le CX-600 a été conçu par COAT-X pour la production de vernis de protection Parylène de haute qualité. C'est le résultat de plus de 10 ans d'intenses recherches et développements. Le CX-600 produit des revêtements conformes en Parylène sans piqûres de haute qualité de 100 nm jusqu'à 40 um avec un contrôle très précis du taux de dépôt.

Les films minces de parylène produits avec le CX-600 sont d'excellents revêtements barrières contre l'humidité et isolants diélectriques avec une tension de claquage élevée, un faible coefficient de frottement, une excellente biocompatibilité et une stabilité chimique.

Caractéristiques principales

CX-600 est une machine de revêtement CVD basse température spécialement conçue pour le dépôt de couches minces de Parylène, elle intègre :

  • Four évaporateur
  • Four à pyrolyse avec tube de quartz
  • Chambre de dépôt à chargement frontal
  • Table tournante de dépôt
  • Injection de promoteur d'adhérence
  • Pièges à froid
  • Unités de pompage
  • Unité de régulation
  • Logiciel d'interface homme-machine
  • PC et écran sur bras orientable
SYSTEM SPECIFICATIONS

La CX-600 est une coucheuse Parylène compacte, elle s'intègre facilement dans une ligne de production, son encombrement est de :

  • Longueur 2,3 m
  • Largeur   1,6 m
  • Hauteur 2,0 m

 

Volume utile pour la déposition:

  • Diamètre   600 mm
  • Hauteur    1200 mm
AVAILABLE OPTIONS

Les options suivantes sont disponibles pour le CX-600 :

  • Activation du plasma d'oxygène
  • Module PE_CVD pour le dépôt de couches minces composites multicouches de Parylène et Céramique.
  • Recharge d'azote automatisée
  • Chambre réacteur thermo régulée
  • Interface salle blanche
  • Dispositif de revêtement spécifique

 

Les consommables pour le dépôt de parylène peuvent être achetés par COAT-X, comme les granulés dimères Parylène-C, Parylène-VT4 et Parylène-AF4 ou les précurseurs céramiques.

APPLICATIONS

Le CX-600 produit des films minces hermétiques en Parylène pour protéger les produits sensibles contre l'humidité comme :

  • Cartes de circuits imprimés (PCB et PCBA)
  • Capteurs et actionneurs
  • MEMS
  • LED
  • Équipement médical

 

De plus, le film mince de parylène fournit une surface biocompatible aux dispositifs implantables, comme

  • Stents cardiovasculaires
  • Systèmes de surveillance cardiaque
  • Contrôle de la pression intra-oculaire
  • Ballon intra-gastrique
SERVICES

COAT-X s'occupe de :

  • Développement d'une recette d'enrobage optimale
  • Conception et production de montages de revêtement
  • Fourniture de consommables et pièces détachées
  • Qualification FAT et SAT
  • Prise en charge de la validation des processus
  • Réparation et service à la demande
  • Livraison mondiale

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