CX-600

Grande machine de revêtement CVD pour la production de films minces de parylène

La CX-600 Parylene Coater est une machine de revêtement CVD basse température dotée d'un réacteur de 600 L pour la production de films minces de parylène . Entièrement automatisée, elle intègre des procédés d'activation de surface.

Le CX-600 peut être intégré aux lignes de production de dispositifs électroniques, médicaux ou de semi-conducteurs. La machine se connecte facilement aux salles blanches.

Le dispositif de revêtement CVD Parylene est également disponible en versions plus petites ( CX-30 et CX-300 ).

Large parylene coater CX-600 by COAT-X for parylene thin films
Large parylene coater CX-600 by COAT-X for parylene thin films

Le CX-600 a été développé par COAT-X pour la production de revêtements de protection en parylène de haute qualité  . Fruit de plus de dix années de recherche et développement intensifs, il produit des revêtements de protection en parylène de haute qualité, sans piqûres, de 100 nm à 40 µm, avec un contrôle très précis du taux de dépôt.

Les films minces de parylène produits avec le CX-600 sont d'excellents revêtements barrières contre l'humidité et des isolants diélectriques avec une tension de claquage élevée, un faible coefficient de frottement, une excellente biocompatibilité et une stabilité chimique.

CARACTÉRISTIQUES PRINCIPALES

La CX-600 est une machine de revêtement CVD basse température spécialement conçue pour le dépôt de films minces de parylène. Elle intègre :

  • Four à évaporateur
  • Four de pyrolyse à tube de quartz
  • Chambre de séparation du chargeur frontal
  • Plateau tournant
  • Injection de promoteur d'adhérence
  • Pièges à froid
  • Unités de pompage
  • Unité de régulation
  • Logiciel d'interface homme-machine
  • PC et écran sur bras réglable
CARACTÉRISTIQUES DU SYSTÈME

Le CX-600 est un enducteur de Parylène compact, il s'intègre facilement dans une ligne de production, son encombrement est :

  • Longueur 2,3 m
  • Largeur 1,6 m
  • Hauteur 2,0 m

 

Volume utilisable pour le revêtement :

  • Diamètre 600 mm
  • Hauteur 1200 mm
OPTIONS DISPONIBLES

Les options suivantes sont disponibles pour le CX-600 :

  • Activation du plasma d'oxygène
  • Module PE_CVD pour le dépôt de films minces composites multicouches de parylène et de céramique.
  • Remplissage automatique d'azote
  • Chambre de réacteur thermorégulée
  • Interface avec la salle blanche
  • Dispositif de revêtement spécifique

 

Les consommables pour le dépôt de parylène peuvent être achetés auprès de COAT-X, tels que les granulés de dimères Parylene-C, Parylene-VT4 et Parylene-AF4 ou les précurseurs céramiques.

APPLICATIONS

Le CX-600 produit des films minces hermétiques en Parylène pour protéger les produits sensibles de l'humidité, tels que :

  • Cartes de circuits imprimés (PCB et PCBA)
  • Capteurs et actionneurs
  • MEMS
  • LED
  • Dispositifs médicaux

 

De plus, le film mince de Parylène fournit une surface biocompatible pour les dispositifs implantables tels que

  • Stents cardiovasculaires
  • Systèmes de surveillance cardiaque
  • Contrôle de la pression intraoculaire
  • ballon intragastrique
SERVICES

COAT-X prend en charge :

  • Développement d'une formulation de revêtement optimale
  • Conception et production de dispositifs de revêtement
  • Fourniture de consommables et de pièces détachées
  • Qualifications FAT et SAT
  • Accompagnement à la validation des processus
  • Réparation et service sur demande
  • Livraison dans le monde entier

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