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CX-300 Parylène

Machine de revêtement CVD de taille moyenne pour la production de couches minces de parylène

La CX-300 est une machine de revêtement CVD à basse température avec un volume de réacteur de 300 litres pour produire des films minces de parylène. Elle est entièrement automatisée et intègre des processus d'activation de surface.

La CX-300 peut être intégrée dans des lignes de production d'appareils électroniques ou médicaux ou de semi-conducteurs. La machine peut facilement être couplée à des salles blanches.

La machine est également disponible dans des modèles plus petits (CX-30) et plus grands (CX-600).

Medium parylene coater CX-30 by COAT-X for parylene thin films
Medium parylene coater CX-30 by COAT-X for parylene thin films

La CX-300 a été conçu par COAT-X pour la production de vernis de protection en parylène de haute qualité. C'est le résultat de plus de 10 ans de recherche et développement intense. La CX-300 produit des revêtements conformes en parylène sans piqûres de haute qualité de 100 nm à 40 um avec un contrôle très précis du taux de dépôt.

Les films minces de parylène produits avec la CX-300 sont d'excellents revêtements barrières contre l'humidité et des isolants diélectriques avec une tension de claquage élevée, un faible coefficient de frottement, une excellente biocompatibilité et une stabilité chimique.

CARACTÉRISTIQUES PRINCIPALES

CX-300 est une machine de revêtement CVD basse température spécialement conçue pour le dépôt de fines couches de Parylène, elle intègre :

  • Four évaporateur
  • Four à pyrolyse avec tube de quartz
  • Chambre de dépôt à chargement frontal
  • Plateau tournant de dépôt
  • Injection de promoteur d'adhérence
  • Pièges à froid
  • Unités de pompage
  • Unité de contrôle
  • Logiciel d'interface homme-machine
  • PC et écran sur bras orientable
DIMENSIONS

La CX-300 est une enrobeuse Parylène compacte, elle s'intègre facilement dans une ligne de production, sa taille est :

  • Longueur 2,5 m
  • Largeur 1,2 m
  • Hauteur 2,0 m
  • Diamètre de la zone de travail 600 mm, hauteur 500 mm
OPTIONS DISPONIBLES

Les options suivantes sont disponibles pour le CX-300 :

  • Activation du plasma d'oxygène
  • Module PE_CVD pour le dépôt de couches minces composites multicouches de Parylène et céramique.
  • Recharge d'azote automatisée
  • Chambre réacteur thermorégulée
  • Interface salle blanche
  • Dispositif d'enduction spécifique

 

Les consommables pour le dépôt de parylène peuvent être achetés via COAT-X, tels que les granules dimères Parylene-C, Parylene-VT4 et Parylene-AF4 ou les précurseurs céramiques.

APPLICATIONS

Le CX-300 produit des films minces hermétiques en parylène pour protéger les produits sensibles contre l'humidité tels que :

  • Cartes de circuits imprimés (PCB et PCBA)
  • Capteurs et actionneurs
  • MEMS
  • LED
  • Matériel médical

 

De plus, le mince film de parylène fournit une surface biocompatible pour les dispositifs implantables, tels que

  • Stents cardiovasculaires
  • Systèmes de surveillance cardiaque
  • Contrôle de la pression intraoculaire
  • Ballon intragastrique
SERVICES

COAT-X s'occupe de :

  • Développement d'une recette d'enrobage optimale
  • Conception et production de montages de revêtement
  • Fourniture de consommables et pièces détachées
  • Qualifications FAT et SAT
  • Prise en charge de la validation des processus
  • Réparation et service sur demande
  • Livraison mondiale

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