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CX-30 Parylène

Machine de revêtement CVD de petite taille pour la production de films minces de Parylène

La CX-30 est une machine de revêtement CVD à basse température avec un volume de réacteur de 30 litres pour produire des films minces de parylène. Elle est entièrement automatisée et intègre des processus d'activation de surface.

La CX-30 peut être intégrée dans des lignes de production d'appareils électroniques ou médicaux ou de semi-conducteurs. La machine peut facilement être couplée à des salles blanches.

La machine est également disponible dans des modèles plus grands (CX-300 and CX-600).

Small parylene coater CX-30 by COAT-X for parylene thin films
Small parylene coater CX-30 by COAT-X for parylene thin films

La CX-30 a été conçu par COAT-X pour la production de vernis de protection en parylène de haute qualité. C'est le résultat de plus de 10 ans de recherche et développement intense. Le CX-30 produit des revêtements conformes en parylène sans piqûres de haute qualité de 100 nm à 40 um avec un contrôle très précis du taux de dépôt.

Les films minces de parylène produits avec la CX-30 sont d'excellents revêtements barrières contre l'humidité et des isolants diélectriques avec une tension de claquage élevée, un faible coefficient de frottement, une excellente biocompatibilité et une stabilité chimique.

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