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La CX-30 est une machine de revêtement CVD à basse température avec un volume de réacteur de 30 litres pour produire des films minces de parylène. Elle est entièrement automatisée et intègre des processus d'activation de surface.
La CX-30 peut être intégrée dans des lignes de production d'appareils électroniques ou médicaux ou de semi-conducteurs. La machine peut facilement être couplée à des salles blanches.
La machine est également disponible dans des modèles plus grands (CX-300 and CX-600).
La CX-30 a été conçu par COAT-X pour la production de vernis de protection en parylène de haute qualité. C'est le résultat de plus de 10 ans de recherche et développement intense. Le CX-30 produit des revêtements conformes en parylène sans piqûres de haute qualité de 100 nm à 40 um avec un contrôle très précis du taux de dépôt.
Les films minces de parylène produits avec la CX-30 sont d'excellents revêtements barrières contre l'humidité et des isolants diélectriques avec une tension de claquage élevée, un faible coefficient de frottement, une excellente biocompatibilité et une stabilité chimique.
CX-30 est une machine de revêtement CVD basse température spécialement conçue pour le dépôt de fines couches de Parylène, elle intègre :
La CX-30 est une enrobeuse Parylène compacte, elle s'intègre facilement dans une ligne de production, sa taille est :
Les options suivantes sont disponibles pour le CX-30 :
Les consommables pour le dépôt de parylène peuvent être achetés via COAT-X, tels que les granules dimères Parylene-C, Parylene-VT4 et Parylene-AF4 ou les précurseurs céramiques.
Le CX-30 produit des films minces hermétiques en parylène pour protéger les produits sensibles contre l'humidité tels que :
De plus, le mince film de parylène fournit une surface biocompatible pour les dispositifs implantables, tels que
COAT-X s'occupe de :
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