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CX-30 Parylene Beschichtungsanlage

Kleine CVD-Beschichtungsmaschine zur Herstellung von Parylene-Dünnfilmen

CX-30 Parylene Coater ist eine Niedertemperatur-CVD-Beschichtungsmaschine mit 30 L Reaktorvolumen zur Herstellung von Parylene-Dünnfilmen. Es ist vollautomatisch und beinhaltet Oberflächenaktivierungsprozesse.

Der CX-30 kann in Produktionslinien für elektronische oder medizinische Geräte oder Halbleiter integriert werden. Die Maschine kann problemlos an Reinräume gekoppelt werden.

Der Parylene CVD-Beschichter ist auch in größeren Modellen (CX-300 und CX-600) erhältlich.

Small parylene coater CX-30 by COAT-X for parylene thin films
Small parylene coater CX-30 by COAT-X for parylene thin films

CX-30 wurde von COAT-X für die Herstellung hochwertiger Parylene-Schutzbeschichtungen entwickelt. Es ist das Ergebnis von mehr als 10 Jahren intensiver Forschung und Entwicklung. CX-30 erzeugt hochwertige, makellose konforme Parylene-Beschichtungen von 100 nm bis 40 µm mit sehr präziser Steuerung der Abscheidungsrate.

Mit CX-30 hergestellte Parylene-Dünnfilme sind hervorragende Feuchtigkeitsbarrierebeschichtungen und dielektrische Isolatoren mit hoher Durchbruchspannung, niedrigem Reibungskoeffizienten, ausgezeichneter Biokompatibilität und chemischer Stabilität.

HAUPTEIGENSCHAFTEN

CX-30 ist eine Niedertemperatur-CVD-Beschichtungsmaschine, die speziell für die Abscheidung dünner Parylene-Schichten entwickelt wurde. Sie integriert:

  • Verdampferofen
  • Pyrolyseofen mit Quarzrohr
  • Frontlader-Abscheidungskammer
  • Ablagedrehtisch
  • Injektion von Haftvermittler
  • Kühlfallen
  • Pumpeinheiten
  • Steuergerät
  • Mensch-Maschine-Schnittstellensoftware
  • PC und Bildschirm auf verstellbarem Arm
MASSE

Die CX-30 ist eine kompakte Parylene-Maschine, sie passt problemlos in eine Produktionslinie, ihre Größe beträgt:

  • Länge 1,9 m
  • Breite 0,9 m
  • Höhe 2,0 m
  • Durchmesser des Arbeitsbereichs 200 mm, Höhe 400 mm
OPTIONEN VERFÜGBAR

Für den CX-30 stehen folgende Optionen zur Verfügung:

  • Aktivierung von Sauerstoffplasma
  • PE-CVD-Modul zur Abscheidung dünner Schichten aus mehrlagigen Verbundwerkstoffen Parylene und Keramik.
  • Automatische Stickstoffnachfüllung
  • Thermoregulierte Reaktorkammer
  • Reinraumschnittstelle
  • Spezifisches Beschichtungsgerät

 

Verbrauchsmaterialien für die Parylene-Abscheidung können bei COAT-X erworben werden, beispielsweise Parylene-C-, Parylene-VT4- und Parylene-AF4-Dimer-Granulat oder Keramikvorläufer.

ANWENDUNGEN

Der CX-30 produziert dünne, hermetische Parylenfolien zum Schutz empfindlicher Produkte vor Feuchtigkeit wie:

  • Leiterplatten (PCB und PCBA)
  • Sensoren und Aktoren
  • MEMS
  • LEDs
  • Medizinische Ausrüstung

 

Darüber hinaus bietet der dünne Parylene-Film eine biokompatible Oberfläche für implantierbare Geräte wie:

  • Herz-Kreislauf-Stents
  • Herzüberwachungssysteme
  • Kontrolle des Augeninnendrucks
  • Intragastrischer Ballon
DIENSTLEISTUNGEN

COAT-X kümmert sich um:

  • Entwicklung einer optimalen Beschichtungsrezeptur
  • Design und Produktion von Beschichtungsvorrichtungen
  • Lieferung von Verbrauchsmaterialien und Ersatzteilen
  • FAT- und SAT-Qualifikationen
  • Unterstützung bei der Prozessvalidierung
  • Reparatur und Service auf Anfrage
  • Weltweite Lieferung

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