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CX-30 Parylene Beschichtungsanlage

Kleine CVD-Beschichtungsmaschine zur Herstellung von Parylene-Dünnfilmen

CX-30 Parylene Coater ist eine Niedertemperatur-CVD-Beschichtungsmaschine mit 30 L Reaktorvolumen zur Herstellung von Parylene-Dünnfilmen. Es ist vollautomatisch und beinhaltet Oberflächenaktivierungsprozesse.

Der CX-30 kann in Produktionslinien für elektronische oder medizinische Geräte oder Halbleiter integriert werden. Die Maschine kann problemlos an Reinräume gekoppelt werden.

Der Parylene CVD-Beschichter ist auch in größeren Modellen (CX-300 und CX-600) erhältlich.

Small parylene coater CX-30 by COAT-X for parylene thin films
Small parylene coater CX-30 by COAT-X for parylene thin films

CX-30 wurde von COAT-X für die Herstellung hochwertiger Parylene-Schutzbeschichtungen entwickelt. Es ist das Ergebnis von mehr als 10 Jahren intensiver Forschung und Entwicklung. CX-30 erzeugt hochwertige, makellose konforme Parylene-Beschichtungen von 100 nm bis 40 µm mit sehr präziser Steuerung der Abscheidungsrate.

Mit CX-30 hergestellte Parylene-Dünnfilme sind hervorragende Feuchtigkeitsbarrierebeschichtungen und dielektrische Isolatoren mit hoher Durchbruchspannung, niedrigem Reibungskoeffizienten, ausgezeichneter Biokompatibilität und chemischer Stabilität.

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