CX-300 Parylene Beschichtungsanlage

Mittelgroße CVD-Beschichtungsmaschine für medizinische Parylen-Beschichtungen

Die CX-300 Parylen-Beschichtungsmaschine ist eine Niedertemperatur-CVD-Beschichtungsmaschine mit einem 300-Liter-Reaktor zur Herstellung von Parylen-Dünnfilmen. Sie ist vollautomatisch und integriert Oberflächenaktivierungsprozesse.

Die CX-300 kann in Produktionslinien für elektronische, medizinische oder Halbleitergeräte integriert werden. Sie kann problemlos an Reinräume angeschlossen werden.

Das Parylen-CVD-Beschichtungsgerät ist auch in kleineren (CX-30) und größeren (CX-600) Modellen erhältlich.

Medium parylene coater CX-30 by COAT-X for parylene thin films
Medium parylene coater CX-30 by COAT-X for parylene thin films

Die CX-300 wurde von COAT-X für die Produktion hochwertiger Parylen-Konformbeschichtungen entwickelt. Sie ist das Ergebnis von über 10 Jahren intensiver Forschung und Entwicklung. Die CX-300 produziert hochwertige, nadelfreie Parylen-Konformbeschichtungen von 100 nm bis 40 μm mit sehr präziser Abscheidungsratenkontrolle.

Mit der CX-300 hergestellte Parylen-Dünnfilme sind ausgezeichnete Feuchtigkeitssperrbeschichtungen und dielektrische Isolatoren mit hoher Durchbruchspannung, niedrigem Reibungskoeffizienten, hervorragender Biokompatibilität und chemischer Stabilität.

Die CX-300 eignet sich hervorragend für die Produktion von Parylen-Schutzbeschichtungen auf Leiterplatten (PCB, PCBA). Die große Kammer ermöglicht die Beschichtung großer Leiterplatten bis zu 50 cm.

HAUPTMERKMALE

Die CX-300 ist eine Niedertemperatur-CVD-Beschichtungsmaschine, die speziell für die Abscheidung dünner Parylenschichten entwickelt wurde. Sie integriert:

  • Verdampferofen
  • Pyrolyseofen mit Quarzrohr
  • Frontladungs-Abscheidungskammer
  • Vinyl-Drehteller für die Abscheidung
  • Haftvermittler-Injektion
  • Kaltfallen
  • Pumpeneinheiten
  • Steuereinheit
  • Mensch-Maschine-Schnittstellen-Software
  • PC und Bildschirm an einem verstellbaren Arm
ABMESSUNGEN

Die CX-300 ist eine kompakte Maschine, die sich leicht in eine Produktionslinie integrieren lässt. Ihre Abmessungen sind:

  • Länge: 2,5 m
  • Breite: 1,2 m
  • Höhe: 2,0 m
  • Arbeitsbereich Durchmesser: 600 mm, Höhe: 500 mm
VERFÜGBARE OPTIONEN

Die folgenden Optionen sind für die CX-300 verfügbar:

  • Sauerstoffplasma-Aktivierung
  • PE_CVD-Modul zur Abscheidung von mehrschichtigen Verbunddünnfilmen aus Parylen und Keramik
  • Automatisches Nachfüllen von Stickstoff
  • Thermoregulierte Reaktorkammer
  • Reinraumschnittstelle
  • Spezifisches Beschichtungsgerät

Verbrauchsmaterialien für die Parylenabscheidung können über COAT-X bezogen werden, wie z.B. Parylen-C, Parylen-VT4 und Parylen-AF4 Dimer-Granulate oder Keramikvorläufer.

ANWENDUNGEN

Die CX-300 produziert luftdichte Parylen-Dünnfilme zum Schutz feuchtigkeitsempfindlicher Produkte wie:

  • Leiterplatten (PCB und PCBA)
  • Sensoren und Aktuatoren
  • MEMS
  • LEDs
  • Medizinische Geräte

Zusätzlich bietet der dünne Parylen-Film eine biokompatible Oberfläche für implantierbare Geräte wie:

  • Kardiovaskuläre Endoprothesen
  • Herzüberwachungssysteme
  • Kontrolle des Augeninnendrucks
  • Magenballon
DIENSTLEISTUNG

COAT-X kümmert sich um:

  • Entwicklung eines optimalen Beschichtungsrezepts
  • Design und Produktion von Beschichtungsgeräten
  • Lieferung von Verbrauchsmaterialien und Ersatzteilen
  • FAT- und SAT-Qualifikationen
  • Unterstützung bei der Prozessvalidierung
  • Reparatur und Service auf Anfrage
  • Weltweite Lieferung

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