Il sistema di rivestimento in parilene CX-30 è una macchina per rivestimenti CVD a bassa temperatura con un reattore da 30 litri, destinata alla produzione di Film sottili di parilene. È completamente automatizzato e prevede processi di attivazione delle superfici.
La CX-30 può essere integrata nelle linee di produzione di dispositivi elettronici, medici o semiconduttori. La macchina può essere facilmente collegata alle camere bianche.
Il sistema di rivestimento CVD al parilene è disponibile anche in modelli di dimensioni maggiori (CX-300 e CX-600).
CX-30 è stato progettato da COAT-X per la produzione di rivestimenti conformi in parilene di alta qualità. È il risultato di oltre 10 anni di intensa attività di ricerca e sviluppo. CX-30 produce rivestimenti conformi in parilene di alta qualità e privi di imperfezioni, con spessori compresi tra 100 nm e 40 µm, grazie a un controllo estremamente preciso della velocità di deposizione.
I film sottili di parilene prodotti con CX-30 sono eccellenti rivestimenti barriera contro l'umidità e isolanti dielettrici caratterizzati da un'elevata tensione di rottura, un basso coefficiente di attrito, un'eccellente biocompatibilità e stabilità chimica.
CX-30 è un impianto di rivestimento CVD a bassa temperatura progettato specificamente per la deposizione di strati sottili di parilene; integra:
La CX-30 è una macchina compatta per il parilene, si integra facilmente in una linea di produzione; le sue dimensioni sono:
Per la CX-30 sono disponibili le seguenti opzioni:
I materiali di consumo per la deposizione di parilene possono essere acquistati presso COAT-X, come il parilene-C, il parilene-VT4 e i granuli di dimero di parilene-AF4 o i precursori ceramici.
La CX-30 produce sottili pellicole ermetiche in parilene per proteggere dall'umidità prodotti sensibili quali:
Inoltre, il sottile strato di parilene offre una superficie biocompatibile per dispositivi impiantabili, quali:
COAT-X si occupa di:
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