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Petite machine d'enduction de parylène CX-30 de COAT-X pour la réalisation de films minces de parylène
machine

CXP-30

Système de revêtement Parylène CVD de petite taille

Le CX-30 Parylene coater est une machine de revêtement CVD à basse température avec un volume de réacteur de 30L pour produire des films de revêtement. Films minces en parylène. Il est entièrement automatisé et intègre des processus d'activation de surface.

La CX-30 peut être intégrée dans des lignes de production d'appareils électroniques ou médicaux ou de semi-conducteurs. La machine peut facilement être couplée à des salles blanches.

La coucheuse Parylene CVD est également disponible dans des modèles plus grands (CX-300 et CX-600).

Petite machine d'enduction de parylène CX-30 de COAT-X pour la réalisation de films minces de parylène

Le CX-30 a été conçu par COAT-X pour la production de revêtements conformes au parylène de haute qualité. Il est le résultat de plus de 10 ans de recherche et de développement intenses. Le CX-30 produit des revêtements conformes de parylène de haute qualité et sans défaut de 100 nm à 40 µm avec un contrôle très précis de la vitesse de dépôt.

Les films minces de parylène produits avec le CX-30 sont d'excellents revêtements anti-humidité et des isolants diélectriques avec une tension de claquage élevée, un faible coefficient de frottement, une excellente biocompatibilité et une grande stabilité chimique.

PRINCIPALES CARACTÉRISTIQUES

La CX-30 est une machine de revêtement CVD à basse température spécialement conçue pour le dépôt de fines couches de Parylène, elle intègre :

  • Four à évaporation
  • Four à pyrolyse avec tube en quartz
  • Chambre de dépôt à chargement frontal
  • Plateau tournant de dépôt
  • Injection d'un promoteur d'adhérence
  • Pièges à froid
  • Unités de pompage
  • Unité de commande
  • Logiciel d'interface homme-machine
  • PC et écran sur bras réglable
DIMENSIONS

La CX-30 est une machine Parylène compacte, elle s'intègre facilement dans une ligne de production, sa taille est.. :

  • Longueur : 200 cm (78,8 pouces)
  • Largeur : 100 cm (39,4 pouces)
  • Hauteur : 200 cm (78,8 pouces)
  • Diamètre de la zone de travail : 20 cm (7,9 pouces), hauteur : 40 cm (15,7 pouces)
OPTIONS DISPONIBLES

Les options suivantes sont disponibles pour la CX-30 :

  • Activation du plasma d'oxygène
  • Module PE-CVD pour le dépôt de films minces composites multicouches de Parylène et de Céramique.
  • Recharge d'azote automatisée
  • Chambre de réacteur thermorégulée
  • Interface salle blanche
  • Dispositif de revêtement spécifique

 

Des consommables pour le dépôt de parylène peuvent être achetés à COAT-X, tels que des granulés de dimères de parylène-C, de parylène-VT4 et de parylène-AF4 ou des précurseurs céramiques.

APPLICATIONS

Le CX-30 produit de minces films de parylène hermétiques pour protéger les produits sensibles contre l'humidité, comme par exemple :

  • Circuits imprimés (PCB et PCBA)
  • Capteurs et actionneurs
  • MEMS
  • LED
  • Matériel médical

 

En outre, la fine pellicule de parylène offre une surface biocompatible pour les dispositifs implantables, tels que :

  • Stents cardiovasculaires
  • Systèmes de surveillance cardiaque
  • Contrôle de la pression intraoculaire
  • Ballon intragastrique
SERVICES

COAT-X s'occupe de :

  • Développement d'une recette de dépôt optimale
  • Conception et production d'accessoires
  • Fourniture de consommables et de pièces de rechange
  • Qualifications FAT et SAT
  • Soutien à la validation des processus
  • Réparation et entretien à la demande
  • Livraison dans le monde entier
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