Materialien und Verfahren

Chemische Gasphasenabscheidung (CVD) von Parylene

Parylene-Abscheidung: Der Gorham-Prozess im Überblick Parylene ist ein Polymer, das sich weder mit dem Pinsel noch durch Tauchen oder Sprühen auftragen lässt. Es bildet sich direkt auf dem zu schützenden Bauteil, Molekül für Molekül...

Plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)

Das PECVD-Prinzip Die Abscheidung von SiO₂ mittels herkömmlicher CVD erfordert Substrattemperaturen von mehreren hundert Grad, was den Einsatz in der Elektronik, bei Lötstellen und bei Polymeren ausschließt. PECVD ersetzt die thermische Energie...

Atomlagenabscheidungsverfahren (ALD)

Das ALD-Prinzip CVD und PECVD (beide in unseren Abscheidungssystemen CX-30, CX-300 und CX-600 verfügbar) sind kontinuierliche Prozesse: Der Vorläufer strömt ein, die Schicht wächst, und die Schichtdicke wird durch die Abscheidung bestimmt ….

Chemie, Qualitäten und Eigenschaften von Parylene

Ein Polymer zum Schutz der Elektronik Parylene ist ein weit verbreitetes Material, das vor allem auf kritischen elektronischen Schaltkreisen aufgebracht wird, um in rauen Umgebungen einen wirksamen Schutz zu bieten. Insbesondere für...