Die CX-600 Parylene-Beschichtungsanlage ist eine Niedertemperatur-CVD-Beschichtungsanlage mit einem Reaktorvolumen von 600 l zur Herstellung von Parylene-Dünnschichten . Das Verfahren ist vollautomatisiert und umfasst Prozesse zur Oberflächenaktivierung.
Der CX-600 lässt sich in Fertigungslinien für elektronische oder medizinische Geräte sowie für Halbleiter integrieren. Die Maschine lässt sich problemlos an Reinräume anschließen.
Die CVD-Parylene-Beschichtungsanlage ist auch in kleineren Ausführungen erhältlich (CX-30 und CX-300).
Der CX-600 wurde von COAT-X für die Herstellung hochwertiger Parylene-Schutzbeschichtungen . Es ist das Ergebnis von mehr als 10 Jahren intensiver Forschung und Entwicklung. Mit dem CX-600 lassen sich hochwertige, porenfreie Parylene-Schutzbeschichtungen mit einer Dicke von 100 nm bis 40 µm und einer äußerst präzisen Steuerung der Abscheidungsrate herstellen.
Mit dem CX-600 hergestellte Parylene-Dünnschichten sind hervorragende Feuchtigkeitssperrbeschichtungen und dielektrische Isolatoren mit hoher Durchschlagspannung, niedrigem Reibungskoeffizienten, ausgezeichneter Biokompatibilität und chemischer Beständigkeit.
Die CX-600 ist eine Niedertemperatur-CVD-Beschichtungsanlage, die speziell für die Abscheidung dünner Parylenschichten entwickelt wurde. Sie umfasst:
Der CX-600 ist eine kompakte Parylene-Beschichtungsanlage, die sich problemlos in eine Produktionslinie integrieren lässt. Seine Stellfläche beträgt:
Nutzbares Volumen für die Beschichtung:
Für den CX-600 stehen folgende Optionen zur Verfügung:
Verbrauchsmaterialien für die Parylene-Abscheidung können bei COAT-X bezogen werden, darunter Parylene-C, Parylene-VT4 und Parylene-AF4 in Form von Dimer-Granulat oder keramischen Vorläufern.
Der CX-600 erzeugt hermetische Parylene-Dünnschichten zum Schutz empfindlicher Produkte vor Feuchtigkeit, wie zum Beispiel:
Darüber hinaus bietet die Parylene-Dünnschicht eine biokompatible Oberfläche für implantierbare Geräte wie beispielsweise
COAT-X kümmert sich um:
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