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Großformatige Parylene-Beschichtungsanlage CX-600 von COAT-X für Parylene-Dünnschichten
Maschine

CXP-600

CVD-Parylene-Abscheidungsanlage für große Werkstücke

Die CX-600 Parylene-Beschichtungsanlage ist eine Niedertemperatur-CVD-Beschichtungsanlage mit einem Reaktorvolumen von 600 l zur Herstellung von Parylene-Dünnschichten . Das Verfahren ist vollautomatisiert und umfasst Prozesse zur Oberflächenaktivierung.

Der CX-600 lässt sich in Fertigungslinien für elektronische oder medizinische Geräte sowie für Halbleiter integrieren. Die Maschine lässt sich problemlos an Reinräume anschließen.

Die CVD-Parylene-Beschichtungsanlage ist auch in kleineren Ausführungen erhältlich ( CX-30 und CX-300 ).

Großformatige Parylene-Beschichtungsanlage CX-600 von COAT-X für Parylene-Dünnschichten

Der CX-600 wurde von COAT-X für die Herstellung hochwertiger  Parylene-Schutzbeschichtungen  . Es ist das Ergebnis von mehr als 10 Jahren intensiver Forschung und Entwicklung. Mit dem CX-600 lassen sich hochwertige, porenfreie Parylene-Schutzbeschichtungen mit einer Dicke von 100 nm bis 40 µm und einer äußerst präzisen Steuerung der Abscheidungsrate herstellen.

Mit dem CX-600 hergestellte Parylene-Dünnschichten sind hervorragende Feuchtigkeitssperrbeschichtungen und dielektrische Isolatoren mit hoher Durchschlagspannung, niedrigem Reibungskoeffizienten, ausgezeichneter Biokompatibilität und chemischer Beständigkeit.

HAUPTMERKMALE

Die CX-600 ist eine Niedertemperatur-CVD-Beschichtungsanlage, die speziell für die Abscheidung dünner Parylenschichten entwickelt wurde. Sie umfasst:

  • Verdampferofen
  • Pyrolyseofen mit Quarzrohr
  • Trennkammer für Frontlader
  • Großer Drehteller
  • Injektion eines Adhäsionsförderers
  • Kältefallen
  • Pumpenaggregate
  • Regeleinheit
  • Software für Mensch-Maschine-Schnittstellen
  • PC und Bildschirm an einem verstellbaren Arm
SYSTEMSPEZIFIKATIONEN

Der CX-600 ist eine kompakte Parylene-Beschichtungsanlage, die sich problemlos in eine Produktionslinie integrieren lässt. Seine Stellfläche beträgt:

  • Länge 220 cm (86,6 Zoll)
  • Breite 160 cm (63,0 in)
  • Höhe 200 cm (78,7 Zoll)

 

Nutzbares Volumen für die Beschichtung:

  • Durchmesser 60 cm (23,6 Zoll)
  • Höhe 120 cm (47,2 Zoll)
VERFÜGBARE OPTIONEN

Für den CX-600 stehen folgende Optionen zur Verfügung:

  • Sauerstoff-Plasmaaktivierung
  • PE_CVD-Modul zur Abscheidung von mehrschichtige Verbund-Dünnschichten aus Parylene und Keramik.
  • Automatische Stickstoffnachfüllung
  • Temperaturgeregelte Reaktorkammer
  • Anschluss an den Reinraum
  • Spezielle Beschichtungsvorrichtung

 

Verbrauchsmaterialien für die Parylene-Abscheidung können bei COAT-X bezogen werden, darunter Parylene-C, Parylene-VT4 und Parylene-AF4 in Form von Dimer-Granulat oder keramischen Vorläufern.

ANWENDUNGEN

Der CX-600 erzeugt hermetische Parylene-Dünnschichten zum Schutz empfindlicher Produkte vor Feuchtigkeit, wie zum Beispiel:

  • Leiterplatten (PCB und PCBA)
  • Sensoren und Aktoren
  • MEMS
  • LEDs
  • Medizinprodukte

 

Darüber hinaus bietet die Parylene-Dünnschicht eine biokompatible Oberfläche für implantierbare Geräte wie beispielsweise

  • Herz-Kreislauf-Stents
  • Herzüberwachungssysteme
  • Kontrolle des Augeninnendrucks
  • Magenballon
DIENSTLEISTUNGEN

COAT-X kümmert sich um:

  • Entwicklung einer optimalen Beschichtungsformulierung
  • Entwicklung und Herstellung von Beschichtungsanlagen
  • Lieferung von Verbrauchsmaterialien und Ersatzteilen
  • FAT- und SAT-Qualifikationen
  • Unterstützung bei der Prozessvalidierung
  • Reparatur und Wartung auf Anfrage
  • Weltweiter Versand
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