Die Parylen-Beschichtungsanlage CX-300 ist eine Niedertemperatur-CVD-Beschichtungsanlage mit einem 300-Liter-Reaktor zur Herstellung von Parylen-Dünnschichten. Sie ist vollautomatisch und umfasst Verfahren zur Oberflächenaktivierung.
Der CX-300 lässt sich in Fertigungslinien für Elektronik-, Medizin- oder Halbleiterprodukte integrieren. Er lässt sich problemlos an Reinräume anschließen.
Das Parylene-CVD-Beschichtungsgerät ist auch in einer kleineren Ausführung erhältlich ( CX-30 ) und größer ( CX-600 ) Modelle.
Der CX-300 wurde von COAT-X für die Herstellung hochwertiger konforme Parylene-Beschichtungen . Es ist das Ergebnis von über 10 Jahren intensiver Forschung und Entwicklung. Der CX-300 erzeugt hochwertige, porenfreie Parylene-Schutzbeschichtungen mit einer Dicke von 100 nm bis 40 μm und einer äußerst präzisen Steuerung der Abscheidungsrate.
Mit dem CX-300 hergestellte Parylene-Dünnschichten sind hervorragende Feuchtigkeitssperrbeschichtungen und dielektrische Isolatoren mit hoher Durchschlagspannung, niedrigem Reibungskoeffizienten, ausgezeichneter Biokompatibilität und chemischer Beständigkeit.
Der CX-300 eignet sich hervorragend für die Herstellung von Parylene-Schutzbeschichtungen auf Leiterplatten (PCB, PCBA). Die große Kammer ermöglicht die Beschichtung großer Leiterplatten mit einer Größe von bis zu 50 cm.
Die CX-300 ist eine Niedertemperatur-CVD-Beschichtungsanlage, die speziell für die Abscheidung dünner Parylenschichten entwickelt wurde. Sie vereint folgende Merkmale:
Der CX-300 ist eine kompakte Maschine, die sich problemlos in eine Produktionslinie integrieren lässt. Seine Abmessungen betragen:
Für den CX-300 stehen folgende Optionen zur Verfügung:
Verbrauchsmaterialien für die Parylen-Abscheidung können über COAT-X bezogen werden, darunter Parylen-C, Parylen-VT4 und Parylen-AF4-Dimer-Granulat sowie keramische Vorläufer.
Der CX-300 erzeugt luftdichte Parylene-Dünnschichten zum Schutz feuchtigkeitsempfindlicher Produkte wie beispielsweise:
Darüber hinaus bietet der dünne Parylene-Film eine biokompatible Oberfläche für implantierbare Geräte, wie beispielsweise
COAT-X kümmert sich um:
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