Die CX-30-Parylene-Beschichtungsanlage ist eine Niedertemperatur-CVD-Beschichtungsanlage mit einem Reaktorvolumen von 30 Litern zur Herstellung von Parylene-Dünnschichten. Das Verfahren ist vollautomatisiert und umfasst Prozesse zur Oberflächenaktivierung.
Der CX-30 lässt sich in Fertigungslinien für Elektronik, medizinische Geräte oder Halbleiter integrieren. Die Maschine lässt sich problemlos an Reinräume anschließen.
Die Parylene-CVD-Beschichtungsanlage ist auch in größeren Ausführungen erhältlich (CX-300 und CX-600).
CX-30 wurde von COAT-X für die Herstellung hochwertiger Parylene-Schutzbeschichtungen entwickelt. Es ist das Ergebnis von mehr als 10 Jahren intensiver Forschungs- und Entwicklungsarbeit. CX-30 erzeugt hochwertige, makellose Parylene-Schutzbeschichtungen mit einer Dicke von 100 nm bis 40 µm bei äußerst präziser Steuerung der Abscheidungsrate.
Mit CX-30 hergestellte Parylene-Dünnschichten sind hervorragende Feuchtigkeitssperrbeschichtungen und dielektrische Isolatoren mit hoher Durchschlagspannung, niedrigem Reibungskoeffizienten, ausgezeichneter Biokompatibilität und chemischer Beständigkeit.
Der CX-30 ist eine Niedertemperatur-CVD-Beschichtungsanlage, die speziell für die Abscheidung dünner Parylene-Schichten entwickelt wurde. Sie umfasst:
Der CX-30 ist eine kompakte Parylene-Maschine, die sich problemlos in eine Produktionslinie integrieren lässt. Ihre Abmessungen betragen:
Für den CX-30 stehen folgende Optionen zur Verfügung:
Verbrauchsmaterialien für die Parylen-Abscheidung können bei COAT-X erworben werden, darunter Parylen-C, Parylen-VT4 und Parylen-AF4-Dimer-Granulat sowie keramische Vorläuferstoffe.
Der CX-30 erzeugt dünne, hermetisch dichte Parylene-Schichten zum Schutz empfindlicher Produkte vor Feuchtigkeit, wie zum Beispiel:
Darüber hinaus bietet der dünne Parylene-Film eine biokompatible Oberfläche für implantierbare Geräte, wie zum Beispiel:
COAT-X kümmert sich um:
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