Chemische Gasphasenabscheidung (CVD) von Parylene
Parylene-Abscheidung: Der Gorham-Prozess im Überblick Parylene ist ein Polymer, das sich weder mit einem Pinsel auftragen noch durch Eintauchen oder Sprühen aufbringen lässt. Es bildet sich direkt auf dem zu schützenden Bauteil, Molekül für Molekül, aus einem Dampf. Die chemische Gasphasenabscheidung von Parylene, die in den 1960er Jahren von William Gorham entwickelt wurde, findet unter Vakuum statt und besteht aus drei aufeinanderfolgenden Schritten, […]
Plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)
PECVD-Prinzip: Bei der Abscheidung von SiO₂ mittels herkömmlicher CVD sind Substrattemperaturen von mehreren hundert Grad erforderlich, was den Einsatz in der Elektronik, bei Lötstellen und bei Polymeren ausschließt. Bei PECVD wird thermische Energie durch elektrische Energie ersetzt. Ein Hochfrequenzfeld mit 13,56 MHz hält im Reaktor ein Plasma aufrecht, ein teilweise ionisiertes Gas, das freie Elektronen, Ionen und Radikale enthält. Da die Elektronen leicht sind, […]
Atomlagenabscheidungsverfahren (ALD)
Das ALD-Prinzip, CVD und PECVD (beides in unseren Abscheidungssystemen CX-30, CX-300 und CX-600 verfügbar) sind kontinuierliche Prozesse: Der Vorläufer strömt ein, die Schicht wächst, und die Dicke wird durch die Abscheidungszeit bestimmt. Der von Tuomo Suntola in den 1970er Jahren entwickelte Prozess der Atomlagenabscheidung (ALD) unterteilt das Wachstum in zwei Halbreaktionen, die niemals bei […] stattfinden.
Chemie, Qualitäten und Eigenschaften von Parylene
Ein Polymer zum Schutz der Elektronik: Parylene ist ein weit verbreitetes Material, das vor allem auf kritischen elektronischen Schaltkreisen aufgebracht wird, um in rauen Umgebungen einen wirksamen Schutz zu gewährleisten. Insbesondere in der Medizintechnik sowie in der Luft- und Raumfahrtindustrie ist Parylene das Material der Wahl. Parylene ist ein Polymer mit einzigartigen Eigenschaften und einem besonderen Abscheidungsverfahren. Der Dampf […]