Implantierbare neuronale Sonden und Gehirn-Computer-Schnittstellen

Bei diesen Anwendungen müssen einzelne Aufzeichnungs- oder Stimulationsstellen mit einer Genauigkeit im Submikrometerbereich elektrisch voneinander und vom umgebenden biologischen Gewebe isoliert werden. Die konforme CVD-Abscheidung ermöglicht eine gleichmäßige Isolierung von Schaftgeometrien mit hohem Seitenverhältnis und feinen metallischen Leiterbahnen – typischerweise aus Gold oder Platin –, ohne dass Spannungskonzentrationen oder delaminierungsanfällige Grenzflächen entstehen. Die Biokompatibilität und Biostabilität von Parylene gewährleisten zudem eine langfristige Isolationsintegrität in der chronischen intrakortikalen Umgebung, in der ionische Flüssigkeiten und Entzündungsreaktionen herkömmliche Polymerisolatoren rasch zersetzen würden.